旋转阴极机构[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：旋转阴极机构专利类型：实用新型专利发明人：朱殿荣,曹俊

申请号：CN201220096370.6申请日：20120314公开号：CN202913051U公开日：20130501

摘要：一种旋转阴极机构，它包括靶旋转机构（4）、靶支架（3）、冷却水管（8）和依次安装在冷却水管（8）外侧的极靴（7）、多个条形磁铁（6）、靶材（5），上述套管的一侧装有一端盖（9），另一端安装靶旋转机构（4）和靶支架（3），所述的条形磁铁（6）和靶材（5）之间套装不锈钢管。本实用新型为一种新型机构，通过在溅射过程中旋转靶材，使得靶材在整区域的消耗能够均匀的进行刻蚀，将靶材一次利用率提高到≥80%以上；同时可以有效减少打弧和靶面掉渣，工艺稳定性好。

申请人：无锡康力电子有限公司

地址：214253 江苏省无锡市宜兴市新建工业园166号

国籍：CN

代理机构：南京天华专利代理有限责任公司

代理人：夏平

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