一种晶圆平整固定设备[发明专利]

来源：汇意旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种晶圆平整固定设备专利类型：发明专利

发明人：刘劲松,郭俭,毕秋吉,谢旭波,崔恒彬申请号：CN201811137363.4申请日：20180928公开号：CN109285807A公开日：20190129

摘要：本发明提供一种晶圆平整固定设备，和植球装置相连接，用于对翘曲晶圆进行平整固定，其特征在于，包括：平整固定装置，用于对翘曲晶圆进行平整固定，包含承载台、吸附固定部以及压边固定部；以及固定控制装置，用于控制平整固定，其中，承载台能够在平整固定装置的平整固定工位和植球装置的植球工位之间来回移动，吸附固定部安装在承载台上，包含预固定单元、装载固定单元以及负压单元，压边固定部包含压边单元、喷气单元以及压边电机，固定控制装置包括负压存储部、平整度存储部、时间存储部、固定控制部、负压传感器、距离传感器、负压判断部、信息处理部以及平整度判断部。

申请人：上海微松工业自动化有限公司,江苏弘琪工业自动化有限公司

地址：201112 上海市闵行区新骏环路188号15-102

国籍：CN

代理机构：上海德昭知识产权代理有限公司

代理人：郁旦蓉

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文