硼扩的控制点是方阻值吗

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不是。硼扩的控制点是硼源气相浓度和扩散时间和温度，硼源气相浓度决定了硼离子的扩散速率，若气相浓度太低，会导致硼扩散速率过慢，达不到所需深度，所以硼扩的控制点不是方阻值。

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