半导体边缘环是什么

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边缘环又被称为聚焦环。
边缘环是被设计在阴极边缘，主要作用是使RF电流集中流向晶圆表面，同时保护阴极免受等离子体轰击。
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。

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